今日介紹的文章發表於2002年，引入頻次做到了令人震驚的1664次，說它是PDMS運用於微流控行業的奠基石文章內容之一並但是分。文章內容原文章標題：聚二甲基硅氧烷制造（PDMS fabrication）聚二甲基硅氧烷制造在其中許多內容在今天來看很有可能平常，可是別忘記這也是18年以前的畢業論文。沒有那樣關鍵的超前性發覺與條理清楚的彙總闡述，大家這裏很有可能仍在應用別的並不方便的生產加工原材料與方式，立在猿巨人肩部上的大家理應幸運並更為勤奮。

哈佛大學化學與化學生物學系的研究組完成了本文。

閃光點

光刻技術

光刻膠旋擦抹矽矽片表面後遮蓋掩膜放進光刻技術曝出。曝出後光刻膠被曝出一部分內部造成聯接，用實驗試劑清洗為聯接一部分，然後進一步烤制幹固光刻膠，產生模版。模版即可以是陽模還可以是陽模，可以反複應用。由於矽矽片和光刻膠表面的電子光學平度市都非常高，偏差在10nm級，因此通過數次澆鑄仍可以不錯地迎合。

澆鑄

模貝進行後可以倒進調准的PDMS開展澆鑄，PDMS與環氧固化劑的比率一般為10:1。倒進PDMS後就能將其放入燒烤箱開展烤制。烤制曆程中分階段的升降機溫度有利於PDMS更強幹固。

封模

簡易的范德華觸碰提供的可逆性密封也是密閉式的，但不可以承擔超過5psi的工作壓力。矽酮結構膠帶或夾層玻璃和紙膠帶就能可逆性得密封PDMS通道。夾層玻璃和紙膠帶僅提供臨時性密封，矽橡膠帶可產生更牢固的密封性，防潮性，並提供由PDMS構成的第四層通道內腔。

為了更好地產生不可逆的密封，大家將PDMS應用氣體等離子體解決1分鐘。這類解決會在PDMS表面造成氯矽烷醇油(Si-OH)，促使表面空氣氧化的PDMS可以與夾層玻璃，矽，聚乙烯，高壓聚乙烯或氮化矽不可逆地迎合。自然迎合總體目標的這種表面也需應用等離子體解決。

三維通道(膜三明治)

因為PDMS優良的透光度，可以由看著開展雙層PDMS的組成。約100μm薄厚的PDMS層析可以看著實際操作迎合，構成三維流道。自然那樣的實際操作難度系數很大。假如選用微操作器micro-manipulator，操縱兩塊PDMS層析粗靠近後應用等離子體解決表面。解決進行後再應用微操作器相互配合立體顯微鏡組成開展組裝。

第二種計劃方案是利用有機溶劑輔助密封。在這個計劃方案中，PDMS在等離子體中解決進行以後，馬上用極性溶劑工業甲醇，酒精或三氟乙醇膜遮蓋PDMS的空氣氧化表面。這種有機溶劑以三種方法起功效：(1)當雙層觸碰時，它可以避免一瞬間密封;(2)它提供潤化功效並容許各層相對性於彼此之間橫著挪動;(3)它可以預防空氣氧化表面在密封以前重新構建為較低的活化能方式。為了更好地密封機器設備，大家容許有機溶劑在PDMS層中間在發熱板或電烤箱中加溫時從PDMS層中間揮發。用這個辦法開展密封所造成的粘結力等同於從低溫等離子清洗器中清除後馬上開展密封。在這裏方式中，加溫PDMS以產生密封，因而產生的通道表面是親水性的。

別的部件

PDMS集成ic必須例如閥，泵，切換閥和電源開關這類的部件來操縱繁雜機器設備中的液體總流量。PDMS集成ic還可以將夾層玻璃毛細血管，矽膠軟管，光纖線和電子產品的構造封裝到微流體設備中。也添加細微的有機化學高聚物膜(用以分離出來，過慮或化學變化)，他們可以夾在雙層PDMS中間。在夾層玻璃或矽機器設備中添加有機膜一般是脫離實際的，由於他們沒法承擔密封這種原材料需要的生產加工溫度。

出入樣口

引進和回收利用液體(比如試品，實驗試劑或緩沖溶液)可以根據應用聚乙烯管材的壓相互配合來進行。一般在PDMS中打比管件直徑稍小的孔;插進管路後，它將對PDMS施壓並提供防潮密封。該方式提供了可逆性的密封，用非常少的氣力就可以卸掉和拆換出入樣管路。這樣一來注射針或齒輪泵可以更好地聯接到微液體通道。

閥和泵

微閘閥根據增加力來夾持在精准部位處關掉的液體通道，進而使這種閘閥工作中。PDMS集成ic還可以與膜泵和隔膜泵融合。通道中的工作壓力可以來源於標准氣壓，壓力，凝膠劑澎漲或來源於電磁場。因為PDMS是彈性體材料，因而活塞閥會依據通道中的流動性方位伸縮在一起或散掉。